技术编号:7104580
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在对基板实施处理温度不同的多种热处理时使用的温度控制单元、基板载置台、基板处理装置、温度控制系统和基板处理方法。背景技术在FPD (Flat Panel Display 平板显不器)、太阳电池或 MEMS (Micro ElectroMechanical Systems 微电子机械系统)的制造过程中,对基板实施各种热处理,例如成膜处理。在现有技术中,在对基板实施处理温度不同的多种热处理时,每个热处理中不同的基板处理装置对基板实施相应的热处理,近年...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。