用于碳化硅器件的边缘终端结构和制造包含该结构的碳化硅器件的方法技术资料下载

技术编号:7104895

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本发明涉及微电子器件,更特别地涉及用于碳化硅器件的边缘终端(edgetermination)。背景技术能够处理例如大约600V和大约2. 5 kV之间的电压的高电压碳化硅(SiC)肖特基二极管,预期与制造的具有类似额定电压的硅PIN 二极管相竞争。这种二极管可以处理大约100安培或更大的电流,这取决于它们的有效面积。高电压肖特基二极管具有多种重要应用,特别是在功率调节、分配和控制领域。SiC肖特基二极管在这些应用中的重要特性是它的开关速度。基于硅的PIN器...
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