技术编号:7105681
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于电子元器件,特别涉及ー种高可靠性的热释电红外探測器。背景技术钛酸锶钡((Ba,Sr)TiO3,简称BST)热释电薄膜是铁电材料中的ー种,具有独特的光学和电学特性,如压电效应、热释电效应,光电效应,非线性光学效应以及铁电性,在微电子学、集成光学和光电子学等高中具有广泛的应用前景。目前,利用BST热释电薄膜优异的电、光等特性,各国正大力研究BST热释电薄膜非制冷红外探測器件。这些器件的应用覆盖了从民用到国防的诸多领域。BST薄膜工作在直流偏置电场下,...
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