技术编号：7106150
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及的是一种可以探测光子能量低于禁带宽度的近红外光的器件结构，属于纳米光探测材料与器件领域。背景技术自Ebbesen等人发现了关于金属薄膜微孔阵列远场透射增强的(Ebbesen现象)著名现象以来，国际上对表面等离激元的研究产生了极大的兴趣，相关研究一直是国际上的前沿研究方向，表面等离激元学已经形成一个新的学科热点。其中，利用表面等离激元独特的光学性质设计与制作光探测器件是一个关注的研究方向。目前在红外光电探测领域， 应用较多的器件结构是半导体-半导体...
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