用于集成电路中选定晶体管性能提升的注入的制作方法技术资料下载

技术编号:7106168

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本发明一般地涉及集成电路,并且更具体地涉及通过使用注入而使得集成电路的选定晶体管的性能提升。背景技术基于关于预期工艺和晶体管性能建模的实验而利用晶体管特性的预期来设计集成电路。有时模型并不是完全精确的,因此集成电路可能不会像预期那样准确动作,或者在已经现场试验后可能会发现需要进一步的性能改变。由于初始掩模组的至少一些部分会无法使用,这会导致需要更换掩模组中的一个 或多个掩模来改正已查明的问题。因此,需要提供一种允许将晶体管特性改变为更需要的特性而不需要替换...
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