技术编号：7106458
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及太阳能电池领域，具体而言，涉及ー种。背景技术晶硅太阳能电池已经被大規模应用到各个领域，其良好的稳定性和成熟的エ艺流程是其大規模应用的基础。晶硅太阳能电池的生产エ艺流程如图I所示，首先对硅片进行清洗，通过化学清洗达到对硅片表面的结构化处理；其次将清洗后的硅片进行扩散处理，硅片经硼扩散エ艺形成P_n结；之后对形成p-n结的硅片进行周边刻蚀エ艺，以去掉在扩散エ艺中硅片边缘所形成的导电层；然后经过化学清洗エ艺，以除去在扩散过程中在硅片表面形成的玻璃层；接...
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