一种GaN基LED芯片的制作方法技术资料下载

技术编号:7106755

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本发明涉及一种半导体发光元件制作方法,更具体地是一种具有低串联电阻和良好P型欧姆接触的GaN基LED芯片的制作方法。背景技术固态发光器件的发光二极管具有低能耗,高寿命,稳定性好,体积小,响应速度快以及发光波长稳定等良好光电特性,被广泛应用于照明、家电、显示屏及指示灯等领域。此类型发光器件在光效、使用寿命等方面均已有可观的进步,有希望成为新一代照明及发光器件主流。虽然GaN基器件在近年来取得了相当大的进展,但是由于较难实现低阻的P型GaN欧姆接触,GaN基高...
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