技术编号:7106861
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本文中公开的本发明涉及基板处理设备以及基板处理方法,并且更具体地,涉及改善其上放置基板的托盘的清洁效率的基板处理设备以及基板处理方法。背景技术太阳能电池是通过使用半导体的属性而将太阳能转换为电能的装置。太阳能电池分为单晶硅太阳能电池、多晶硅太阳能电池、以及薄膜太阳能电池。 通过在透明玻璃或塑料基板上沉积p层、i层、以及n层来制造基于薄膜的太阳能电池。通过在硅基板上沉积抗反射层来制造基于晶硅的太阳能电池。上述的层可以通过使用等离子体的等离子体增强化学汽相沉积...
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