技术编号:7107032
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及的是ー种微机电系统的方法,具体涉及ー种镍热敏薄膜电阻加工方法。背景技术MEMS加工制造的热敏薄膜电阻可以广泛用于制造温度传感器、流速传感器、剪应カ传感器、气体传感器的敏感探头。热敏薄膜电阻制作在以SiO2膜或Si3N4膜为隔热层上,相对于制作在以聚酰亚胺为隔热层上,具有热处理温度高的特点,可以应用于各种流场温度、流速、剪应カ等測量任务。尤其在气体流场动态测量时,必须考虑热敏元件的反应速率以及耐抗性等,而现阶段热敏传感器具有反应速度慢、耐抗性差等特...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。