技术编号：7107147
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种湿制程蚀刻方法及装置，尤其涉及一种以搅棒扰动载具边缘的湿制程蚀刻方法及装置。背景技术一般在进行湿式蚀刻时，首先反应物利用扩散效应，通过一层薄薄的扩散边界层，以到达被蚀刻薄膜表面。然后，这些反应物将与薄膜表面的分子产生化学反应，并生成各种反应生成物。这些位于薄膜表面的反应生成物，也将利用扩散效应，通过扩散边界层到达溶液里，而后随着溶液排出。为了增加扩散效应，有利用磁铁带动蚀刻槽底部的搅棒以搅拌蚀刻液，但此种方式仅能搅动下层的蚀刻液，对于大面积的...
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