技术编号:7108242
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及MOM电容,尤其涉及一种MOM电容制造方法。背景技术随着半导体集成电路制造技术的不断进步,性能不断提升的同时也伴随着器件小型化和微型化的进程。电容器是集成电路中的重要组成单元,广泛运用于存储器,微波,射频,智能卡,高压和滤波等芯片中,具体用途有带通滤波器,锁相环,动态随机存储器等等。集成电路芯片中的电容结构多种多样,如MOS (metal-oxi de-semi conductorField,金属-氧化物-半导体)场效应管电容,PIP (poly...
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