技术编号:7108461
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体制造エ艺,且特别涉及。背景技术金属可编程熔丝(Metal Fuse)技术利用金属电迁移现象发展起来的ー种技木,它能和CMOSエ艺技术兼容,面积小。主要用做执行冗余、现场修复芯片、对芯片重新编程,使电子产品变得更加智能化。參考图I,在常见的电子可编程熔丝器件版图中,电极2和电极3之间由金属熔丝I相连接。当在两电极之间加以较高电流时,在较高的电流密度的作用下,相关原子将会沿 着电子运动方向进行迁移,形成空洞,最終断路,这种现象就是电迁移(EM)...
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