技术编号:7108462
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体制造工艺,更具体地说,本发明涉及一种。背景技术随着集成电路工艺的发展以及关键尺寸不断缩小,工厂引入了更加先进、更加昂贵的缺陷检测设备以满足对在线工艺步骤的品质监控的要求。其中亮场缺陷检测机台就是应用最为广泛并且有着很高灵敏度的一类机台。具体地说,由于生产过程中生产机台故障,生产环境污染等诸多因素的影响,晶圆缺陷问题也会随之而来,并且缺陷的大小形态直接影响晶圆产品的质量及可靠性,其中大范围缺陷问题对晶圆产品质量的影响尤为严重,由于目前器件尺寸...
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