技术编号:7108487
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种激光二极管的制造方法。背景技术激光二极管(LD)是一种由半导体材料形成二极管,其基本结构包括衬底以及依次沉积在衬底上的P/N型包覆层、有源层和P/N型包覆层,以及N型和P型包覆层上的欧姆接触。衬底作为LD这座大厦的地基,具有重要的作用。蓝宝石是一种常用的LD衬底,但由于其与其上的异相外延层的晶格和热应力失配,发热后由于膨胀程度不同会崩裂,导致器件损坏。另外一类LD衬底包括GaN,GaAs, InP等半导体材料。作为衬底的上述半导体材料中一般都...
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