技术编号:7109012
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体制造工艺,更具体地说,本发明涉及一种晶圆传递机械臂、以及采用了该晶圆传递机械臂的半导体制造设备。背景技术在半导体晶圆的加工处理工艺中,有时候需要利用诸如机械臂之类的操作工作对腔室中的晶圆进行转移,例如在进行测试时,需要将晶圆从晶舟(cassette,也称为载片台、花篮、片盒、片筐等)转移至机台的里的测试托盘(chuck)上。其中,晶舟是用来装晶圆的工具,其包括多个晶圆槽,类似于光盘装载装置,晶圆逐片地卡在载片台的分开的各个晶圆槽内。 此时,...
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