技术编号:7109082
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及薄膜晶体管领域,特别是涉及。背景技术金属氧化物薄膜晶体管主要用于有机发光显示、液晶显示以及电子纸的有源驱动,也可以用于集成电路。近年来,基于金属氧化物的薄膜晶体管因为其迁移率高、透光性好、薄膜结构稳定、制作温度低以及成本低等优点受到越来越多的重视。特别是以In-Ga-Zn-O(IGZO)为代表的氧化物半导体TFT技术,相对于a-Si TFT可以实现更高的分辨率,相对于LTPS TFT·技术则可提高良率、降低成本并实现节能化;总体而言,IGZO T...
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