技术编号:7109524
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体器件,尤其涉及一种提高MOM电容密度的方法。背景技术随着半导体集成电路制造技术的不断进步,在性能不断提升的同时也伴随着器件小型化和微型化的进程。电容器是集成电路中的重要组成单元,广泛运用于存储器,微波, 射频,智能卡,高压和滤波等芯片中,具体用途有带通滤波器,锁相环,动态随机存储器等坐寸ο集成电路芯片中的电容结构多种多样,如MOS场效应管电容, PIP (poly-insulator-poly)电容,可变结电容以及后段互连中的MIM (me...
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