技术编号:7109617
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本公开涉及一种通过利用压电元件的压电效应而驱动为滑动粘附型(slip-sticktype)的压电致动器。背景技术在扫描探针显微镜(SPM)、光学设备、半导体处理设备、高精度对准仪等中,物体可以在从几毫米至几厘米的范围内移动。因而,需要能够以一步的移动距离小于几微米(例如,从几十纳米至几皮米)的水平来精确地移动物体的定位器。因此,需要发展具有简单的结构以产生物体的精细位移的致动器。发明内容本发明提供了一种滑动粘附型的压电致动器,其可以通过小且简单的结构而以两...
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