技术编号:7109649
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。图案化碳纳米管器件中的接触本发明的示例性实施方式总体上涉及基于碳纳米管的电子器件,而且更具体地说,涉及用于处理碳纳米管器件以便在基于碳纳米管的晶体管中形成栅极与源极/漏极电接触的方法。背景技术由于传统CMOS集成电路的缩放接近量子力学极限,因此在半导体工业中对替代的纳米结构与材料已进行了调查研究。在这种纳米结构与材料中,碳纳米管(CNT)提供了适于高性能纳米级器件的出色的本征属性。CNT是显示圆柱体纳米结构的碳的同素异形体,而且其是富勒烯结构家族的成员。它...
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