技术编号:7109890
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体器件,尤其涉及。背景技术请参阅图4,图4所示为半导体领域普遍采用的良率监控方式示意图。半导体制造业界普遍应用线上缺陷控制界限用来监控线上制程机台的表现,一旦有缺陷扫描结果2超出控制界限,则良率监控系统自动提醒设备使用者发现制程机台的异常,及时宕机处理。但是,对于制程机台细微制程的偏移,扫描缺陷结果和基准值比较只是增加少量的缺陷数目,并没有超出控制界限。这种情况只有通过设备使用者手动作缺陷数据分析时才能发现,通常需要较长时间、较多人力来处理大...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。