技术编号:7110284
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及显示,特别涉及一种。背景技术AMOLED凭据高画质、移动图像响应时间短、低功耗、宽视角及超轻超薄等优点,成为了未来显示技术的最好选择。目前AMOLED中,背板技术中制作多晶硅层,包括有采用准分子激光退火(ELA),固相晶化(SPC),金属诱导晶化(MIC)等多种制作方法。而采用准分子激光退火(ELA)工艺,来得到的背板中晶体管有源层的多晶硅薄膜是唯一已经实现量产的方法。在现有的准分子激光退火(ELA)工艺研究中,研究者一直致力于开发大晶粒的低温多...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。