技术编号:7110286
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明关于一种具有旋动式测试手臂的半导体元件测试系统,尤其是一种藉由旋动式测试手臂携行半导体元件运行替换于两个测试座之间的测试系统。背景技术一般完整的集成电路制造,主要包括初期的集成电路设计与晶圆制造,中期的晶圆电性测试,及后期的最终测试与产品出货。于半导体元件日益微小化的同时,集成电路的制程在每一个制程阶段都相当重要。其中,电性测试能够针对各种半导体元件电性参数进行测试以确保产品能正常运作,实境测试则是于测试系统设备将根据产品不同的测试项目通过公板模拟实...
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