技术编号:7110618
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及CMOS影像传感器,尤其涉及一种CMOS影像传感器的后端平坦化方法及像元结构。背景技术CMOS影像传感器由于其与CMOS工艺兼容的特点,从而得到快速发展。相对于CXD工艺,其工艺完全与CMOS工艺兼容,其通过将光敏二极管和CMOS处理电路一起做在硅衬底上,从而在保证性能的基础上大幅度降低了成本,同时可以大幅度提高集成度,制造像素更闻的广品。传统CMOS影像传感器是使用正面光照的方法,将光敏二极管和CMOS处理电路一起做在硅衬底上使用同一层次实现,...
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