技术编号:7110668
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种制备半导体光检测装置例如太阳能电池和光检测器的方法以及根据所述方法制备的产品。本发明对于高功率太阳能电池和光检测器是特别有用的。更具体地,本发明涉及一种将太阳能电池上的防反射涂层图案化的方法,特别是多结太阳能电池,以提供具有最小损失的外延接触区域。背景技术传统的光检测装置具有减小光(如太阳光)电能量转换效率的特征。例如,一部分吸收的光(太阳光)能不能被收集在电极上作为电能并且不得不以热量形式被浪费。对于高功率装置,浪费的热量可能导致明显升高的...
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