技术编号:7110714
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种具有以氧化铟为主成分、且含有含正3价的金属氧化物的结晶质氧化铟的半导体膜的薄膜晶体管。背景技术近年,显示装置的发展备受瞩目,液晶显示装置、EL显示装置等各种显示装置被积极地应用于个人电脑、文字处理机等OA机器中。这些显示装置都具有利用透明导电膜夹持显示元件的夹层结构。·用于驱动上述显示装置的开关元件中,目前硅系的半导体膜占主流地位。这是因为,硅系薄膜的稳定性、加工性优异,而且开关速度快等良好的性质。该硅系薄膜一般通过化学蒸气析出法(CVD法)...
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