技术编号:7110889
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及基板(substrate)加工设备的微粒去除部件(particle removingmember)和通过采用该微粒去除部件从基板加工设备除去微粒的方法,所述基板加工设备是用于制造或检查半导体、平板显示器或印制电路板(printed-circuit boards)并排斥(abhors)杂质的典型装置。背景技术 在基板加工设备中,在与输送系统物理接触下输送基板。此时,当杂质粘附在基板或输送系统时,随后的基板会接连受到污染。因此,需要周期性地停止该设备...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。