技术编号：7111193
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种蓝宝石衬底，特别涉及一种矩阵式蓝宝石衬底，属于蓝宝石领域。背景技术对于制作LED芯片来说，衬底材料的选用是首要考虑的问题。应该采用哪种合适的衬底，需要根据设备和LED器件的要求进行选择。目前市面上一般有三种材料可作为衬底蓝宝石衬底、硅衬底、碳化硅衬底。单晶的蓝宝石衬底材料可用来制作蓝光/白光/紫外光发光二极管和激光二极管，还有高频的微波以及高压大功率器件。事实上，单晶蓝宝石衬底材料的作用是作为模板来制作单晶的氮化镓薄膜(氮化镓材料的能隙为...
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