技术编号:7112940
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及太阳电池制造领域,具体涉及一种可避免误动作损害的机械臂。背景技术等离子增强化学气相沉积(PlasmaEnhanced Chemical Vapor Deposition ;PECVD)设备的机械臂在工作过程中,主要负责石墨舟或石墨框的传送。在设备正常工作时,机械臂会上下左右多位置运动,将石墨舟或石墨框放在设定位置。在自动运行模式下,如果设备出现故障,机械臂会一直向下压,由于设备上没有相关保护装置,下压运动无法停止。在手动运行模式下,能使机械臂...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。