技术编号:7114383
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于改良电化学电容电压(ECV)造形测量准确度的装置与方法,其方式是警示操作者蚀刻过程中存在表面薄膜或气泡,并在测量循环结束时测定该实际测量区域且使用新值重新计算该载流子浓度数据。通过使区域测量与ECV工具构成整体,可针对该实际测量区域修正每个样品的测量值,从而改良准确度并消除一大的错误源。通过使用整体测量系统在测量中监控该样品表面的表面薄膜及气泡可进一步减少错误。背景技术 半导体器件系通过层叠布置不同电气及/或光学性质的材料层而制成。该些夹...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。