技术编号:7114611
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及半导体光电芯片制造领域,尤其涉及一种垂直LED芯片。背景技术近年来,对于大功率照明发光二极管(light-emitting diode,LED)的研究已经成为趋势,然而传统的同侧结构LED存在电流拥挤、电压过高和散热难等缺点,很难满足大功率的需求,而垂直LED不仅可以有效地解决大电流注入下的拥挤效应,还可以缓解大电流注入所引起的内量子效率降低,改善垂直LED的光电性能。因此,制备垂直LED芯片首先需要解决大功率垂直LED芯片散热的问题,即将垂...
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