一种用于太阳能电池片生产的石英炉门的制作方法技术资料下载

技术编号:7115035

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本实用新型涉及工业生产设备领域,具体是涉及一种用于太阳能电池片生产的石英炉门。背景技术在太阳能电池片生产中,太阳能电池片的PN结特性一般是通过以下过程完成首先在P型衬底硅片上掺杂一些微量元素如磷、硼等,然后通过高温扩散方式形成一层N型薄层。在现有技术中,此过程在生产太阳能电池片的扩散炉中完成,其炉内需要达到900°C的温度甚至更高,这就要求扩散炉的内部构件(包括其炉门)耐高温性能好、不宜炸裂变形、使用寿命长。而现有扩散炉炉门在使用过程中很容易短时间内发生炸...
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