技术编号：7116700
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及硅片在加工如化学抛光、腐蚀、清洗等过程中的器材，特别是一种硅片清洗装置。背景技术目前，小硅片在实验室中化学抛光、腐蚀、清洗等过程一般都会用到清洗花篮固定硅片，有成熟的小硅片抛光用花篮，如北京南轩兴达电子科技有限公司设计生产的花篮。但是传统清洗花篮有一些不足在薄硅片化学抛光、腐蚀、清洗等过程中，由于薄硅片表面积大、重量轻，化学腐蚀时由于反应气体在硅片表面的附着，容易使硅片漂浮，从而脱离花篮的卡槽。因此，需要对传统清洗花篮进行改进。实用新型内容实...
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