技术编号:7117336
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。,导电浆料成分,探针元件,和晶片检测仪器及晶片检测方法本发明栅极,其适用于形成于晶片上的晶片状态的多个集成电路的导电性电气检测,用于获得该的导电浆料成分,装配有该的探针元件,晶片检测仪器装配有该探针元件,和使用该探针元件的晶片检测方法,特别涉及适用于集成电路的导电性电气检测的,该集成电路形成于晶片上,其直径是,例如,8英寸或更大,其上形成的集成电路中待检测的总的电极数目至少为5000个,该集成电路是以晶片的状态呈现的,用于获得该的导电浆料成分,装配有该的探...
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