技术编号：7118648
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种晶体硅太阳能电池PECVD工序板式镀膜设备，具体涉及一种晶体硅太阳能电池的板式PECVD镀膜的在线吹扫装置。背景技术太阳能作为一种清洁、可再生的能源，对它的利用一直被人们所关注。晶体硅太阳电池作为目前太阳能电池的主流，如何降低太阳能电池的成本，提高效率成为国内外晶体硅太阳能电池研究的重点。在生产晶体硅太阳能电池的过程中， 硅片在镀膜后叠放时镀膜面存在着容易被氮化硅粉尘玷污，导致镀膜面氮化硅粉尘难以清除的问题，不便于后序操作，增加了人力成本...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。