减少非钝化激光熔丝的飞溅的制作方法技术资料下载

技术编号:7120428

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本发明总体上涉及集成电路的制造,尤其是防止在非钝化激光熔丝烧断时熔丝材料的飞溅在其它的激光熔丝中产生短路。背景技术 在集成电路的制造中,已经有很长时间在使用激光熔丝。激光熔丝的一种应用是根据集成电路的预定用途,激活或者停用集成电路中的特定功能。例如,可以对集成电路进行单一设计,使之具有完备的功能集合。但是,取决于集成电路销售时的价格,可以禁用特定的功能。在另一种应用中,激光熔丝允许用正常工作的备用器件和电路来替换集成电路中有缺陷的器件和电路。一般,当对集成...
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