技术编号：71218
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 技术领域本发明涉及SiO2薄膜微细图形化技术的一种感光性溶胶、凝胶薄膜及其制备方法，进一步涉及一种利用光感应性SiO2凝胶薄膜制作微细图形的方法，可应用于光通讯领域中的光学衍射元器件如光栅、分光器的制作，或应用于微电子和光电子领域中的沟槽类基板的制作等。 背景技术随着光通讯事业的急速发展，对用于光的分束合束、波分复用等集成光学元件提出了更高的要求，而SiO2薄膜由于具有良好的透光性和低的光损耗性能，成为集成光学中最重要的光学薄膜之一。但在具体集成光路中，常常需要把SiO2薄膜制成条形波导或特定的薄膜图形。除此...
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