技术编号:7123226
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及,属于半导体。背景技术硅材料是目前最重要的一种半导体材料,也是现代电子元器件应用的最基本材料。硅的半导体特性表现为具有中等禁带宽度,纯净的硅材料导电特性很差。当对硅进行掺杂,会形成电子导电的n型半导体或者空穴导电的p型半导体。当不同导电类型的p型半导体和n型半导体结合,会形成具有整流特性的二极管、三极管或者场效应管,这是电子 元器件的最基本器件。对于一块原始具有一定掺杂浓度的P型或者n型硅衬底,通过不同的工艺流程,形成局部掺杂的器件,器件之间又通...
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