技术编号:7123585
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明领域涉及半导体光电检测器。具体地说,此处描述一种包含内反射器的半导体光电检测器。背景技术 图1A和1B表示在波导基片101上包含平面型波导120的普通配置。表面安装的光电检测器110放置在波导基片101上(或直接地,或在它的对准件/支承件上),用于检测从波导120输出面传播的光功率。图1C和1D表示另一种普通配置,它包含对准槽152中放置照射光电检测器110(表面安装到凹槽基片151,如图1C和1D所示,或直接制作到凹槽基片上)的光纤150。在这种环...
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