技术编号：7123996
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于LED制造工艺，尤其涉及一种铌酸锂衬底。背景技术自从20世纪90年代初GaN (氮化镓)基LED商业化以来，经过二十几年的发展，GaN基LED的结构已趋于成熟和完善，但可用于GaN基LED的衬底材料却寥寥无几，可用于商业化的衬底材料更是少之甚少。目前，市面上通常采用蓝宝石和碳化硅两种衬底材料，其中蓝宝石材料由于具有化学稳定性好、生产技术相对成熟等优势而应用最为广泛，但用蓝宝石材料作为GaN基LED的衬底也存在很多问题，首先蓝宝石材料存在晶格失...
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