技术编号：7124826
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及空气电离设备，且更特定地说涉及一包括沿所述结构的长度布置以用于向一静态充电的物体传递空气离子的复数个喷嘴和离子发射极的细长结构。背景技术 用于传递空气离子的某些已知装置包括细长结构，其包括沿所述结构间隔以在一离子发射电极周围的压力下促进空气或其他气体的释放的多个出口，从而以一流通空气流将所产生的离子从所述出口载出。所述结构一般称为离子发生器或电晕放电棒，且常规地安装于其中在制作过程期间如半导体晶圆的物体所放置的区域上的顶部上。所述电晕放电棒一般包...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。