技术编号：7127379
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型是关于一种抽片移转治具，特别是有关于一种晶舟的抽片移转治具，可防止晶圆破片或缺角的缺点问题。背景技术请参阅图1是已知晶舟(cassette)的抽片移转不意图，一般而目，多个晶圆(wafer) 91是先一起存放于一具有多个承置槽901的第一晶舟90内，每一晶圆91分别存放于每一承置槽901，以方便作业人员或机器设备的机械手臂取拿。如图所不，晶圆91在后续流程中检验时，若有必要，需从第一晶舟90中进行抽片移转至第二晶舟95的承置槽951，以检验晶圆9...
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