技术编号：7130772
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及传动装置，尤其涉及一种用于硅片链式清洗、刻蚀辅助上片设备的快速旋转抓取装置。背景技术现有自动送片的设备不能保证硅片在送片时按批次生产，生产效率低下。随着硅片生产工艺的进步，开发高效可按批次生产硅片的自动送片设备已成必 然。如何研发高效吸片的送片传动装置业界亟待解决的技术难题。实用新型内容本实用新型的目的是针对上述现有技术存在的缺陷，提出一种用于硅片链式清洗、刻蚀辅助送片设备的快速旋转抓取装置。本实用新型采用以下技术方案是，设计一种快速旋转抓取...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。