低漏电的低压二极管芯片的制作方法技术资料下载

技术编号:7133317

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本实用新型涉及半导体集成电路器件领域,特别是涉及一种低漏电的低压(低于外延层材料的最高隧道击穿电压)二极管芯片。背景技术在半导体技术中,二极管是一个重要的器件,一般的二极管由一个PN结构成,二极管正向导通和反向击穿的特性被广泛的应用于半导体领域。在对PN结二极管施加反向电压时,当反向电压增加到一定数值VB时,通过PN结的反向电流就会急剧上升,这种现象称为PN结的反向击穿,VB即为击穿电压。就产生的机理而言,PN结击穿可以分为雪崩击穿和隧道击穿(又称齐纳击穿...
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