技术编号:7134561
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于光伏硅片生产设备,尤其涉及光伏硅片生产设备中的变节距夹具。背景技术为了提高光伏硅片扩散工艺的产能,在不改变工艺主设备的情况下,将硅片载具石英舟节距变小(如从4. 76mm变为4. 05mm)是最为便捷和广泛采用的方法。扩散工艺进行之前,硅片需要从另一种载具花篮倒入石英舟;工艺 完成之后,硅片需要从石英舟倒入花篮以便将硅片传送到下一道工艺。因为工艺间的硅片传送都采用4. 76mm的花篮,所以当石英舟节距为4. 76mm时,人工倒片时,只需将两个...
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