技术编号:7134966
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体集成电路中的高速信号用的传输线路和使用该传输线路的半导体器件。背景技术 近年,半导体集成电路的高速化不断进展,实现了以数GHz的时钟速度工作的微处理器或以数GHz工作的高频电路。在半导体集成电路中,为了进行GHz级的信号传输,布线串扰的对策或对于包含布线电感的高频信号响应的考虑成为必要。作为进行了这样的考虑的代表性传输线路,有共面线路或微波传输带线路。报告了把共面线路应用于半导体集成电路的时钟布线中的例子(例如,参照非专利文献1)。此外,微...
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