技术编号：7136827
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及晶硅太阳电池扩散设备领域，特别涉及一种扩散用气体喷淋管。背景技术目前，在晶硅太阳电池扩散设备中，扩散炉腔内的气体管是一根从炉尾处延伸至炉腔内的石英管，其仅在石英管的两端开口，一端连接扩散炉尾的进气口，一端作为扩散气体的出气口，反应气体通过该石英管在靠近炉尾处释放，并一边与硅片反应，一边向炉口扩散，直至进入炉口的排气口才被排出。由于扩散反应气体仅从炉尾进入扩散炉内，而炉口是依靠炉尾的反应气体扩散至该处进行反应的，炉尾及炉口之间存在空间、时间上的...
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