技术编号：7138212
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种清洗晶圆片时用于装载晶圆片的装置，尤其涉及一种晶圆片内外滚动花篮。背景技术现在在清洗太阳能、半导体等用到的各种晶圆片时，通常将晶圆片装载在花篮内进行清洗，当晶圆片装载在花篮上时，花篮和晶圆片之间位置即保持固定，理论上不会发生任何移动或滚动，这样使得晶圆片和花篮相接触的地方就无法清洗到，同时，清洗槽内的液体动作很小，液体内的物质会发生沉淀，整个液体在各处的性质不能保持完全一致，会导致晶圆片各处的清洗效果不同。实用新型内容发明目的为了克服现有...
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