技术编号：7139540
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及含有薄膜晶体管(下面，略为TFT)等薄膜层叠结构的薄膜器件及其制造方法，特别是涉及初期设备投资少、可以以低成本制造的薄膜器件及其制造方法。本发明进而涉及使用了这种薄膜器件的液晶屏及电子装置。背景技术 近年来，使用了这种薄膜器件的液晶显示装置用于笔记本式个人计算机、车载用的导航系统、摄像机、各种携带式信息装置等中，其应用领域及生产数量正好迅速扩大。这依赖于液晶显示装置价格的降低，以及扩大了画面尺寸、提高了分辨率、低耗电化等性能的改善。但是，为了进一...
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