技术编号:7139784
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体器件以及半导体工艺,尤其是涉及一种。背景技术温度传感器是应用最广的传感器之一,从家电、汽车电子、电力电子领域直至航天、地质、资源领域等,都需要具有温度传感功能的器件。传统的温度传感器类型有热电偶、 热敏电阻、电阻温度检测器和半导体温度传感器等。在众多的传感器类型中,半导体温度传感器具有灵敏度高、体积小、功耗低、时间常数小、抗干扰能力强、易集成等诸多优点,而成为温度传感器中的首选。但由于材料特性的限制,传统的半导体材料制作的温度传感器不能在高...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。