一种超级结mosfet元器件的制作方法技术资料下载

技术编号:7139858

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本实用新型涉及一种超级结MOSFET元器件。背景技术功率半导体器件是不断发展的功率-电子系统的内在驱动力,尤其是在节约能源、动态控制、噪音减少等方面。功率半导体器件主要应用于对能源与负载之间的能量进行控制,并且应当拥有精度高、速度快和功耗低的特点。在功率电路中,功率半导体器件(特别是M0SFET,简称为M0S)主要用作开关器件,由于它 是多子器件,所以其开关功耗相对较小。而它的通态功耗则比较高,要降低通态功耗,就必须减小导通电阻Rdsm。因此,功率半导体器...
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